【職務の概要】

・次世代半導体デバイスに対応する新規ALD／CVD用成膜材料（プレカーサー）の開発。

【具体的な業務内容】

・新規ケイ素系成膜材料（プレカーサー）を用いた成膜試験。※成膜条件検討、膜質評価など

・成膜試験用機材の立ち上げ・保守

・外部試験期間や放射光施設を活用した検討計画の立案・推進

【ポジションの魅力】

・先端半導体に直結する成膜・薄膜評価技術の開発を担う。

・GAA/CFET等の先端ロジック、３D NAND等の多層メモリなど次世代開発に貢献できる。

・国内外の半導体メーカー・装置メーカーとの共同開発機会が得られる。

・材料およびプロセスの両面からの技術検討が可能。

【求める経験】

（必須）：ALDもしくはCVDによる成膜プロセス開発経験、または薄膜評価・分析経験（SEM、XPS、XRR、エリプソメトリ等）

（歓迎）：真空プロセス／ドライプロセス開発経験、半導体メーカー／装置メーカーとの共同開発経験、

　　　　　有機金属化合物／高純度材料の取り扱い経験（成膜評価経験）

【勤務地】

川崎フロンティエンスR&Dセンター（川崎市川崎区殿町）